MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹ö

 

MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Àº  ¹Ì±¹ MKS Instruments, Inc.ÀÇ TYPE 146 Series ÄÁÆ®·Ñ·¯¿Í Åë½ÅÀ» À§ÇÑ µå¶óÀ̹öÀÌ´Ù.

 

1. Àб⠼³Á¤

 

<±×¸² 1>Àº MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Åë½Å¼³Á¤ ¿¹ÀÌ´Ù.

 

<±×¸² 1> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement µå¶óÀ̹öÀÇ Åë½Å ¼³Á¤ ¿¹

 

<±×¸² 1>ÀÇ µð¹ÙÀ̽º ¼³Á¤Àº ¿¬°áµÈ Åë½ÅÆ÷Æ®( COM1 ), Åë½Å¼Óµµ( 9600 ), Æи®Æ¼ºñÆ®( 2 ), µ¥ÀÌÅͺñÆ®( 7 ), Á¤ÁöºñÆ®( 1 ) ¼øÀ¸·Î Àåºñ¿¡ ¼³Á¤µÈ °ªÀ» ÀÔ·ÂÇÑ´Ù.

¶ÇÇÑ ¿É¼Ç ºÎ¿¡´Â »ç¿ëÇÏ´Â ÇÁ·ÎÅäÄÝÀÌ BCC üũ »ç¿ë¿©ºÎ(0 = »ç¿ë¾ÈÇÔ, 1 = »ç¿ë, ±âº» = 0)À» ÀÔ·ÂÇÑ´Ù.

 

Âü°í) MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ Åë½Å¼Óµµ(300 ~ 9600), µ¥ÀÌÅͺñÆ®(7, 8), Æи®Æ¼ºñÆ®(0, 1, 2)´Â Àåºñ ¾Õ¸éÀÇ Á¶ÀÛ ½ºÀ§Ä¡¸¦ ¼³Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

 

 

MKS 146 Vacuum Gauge MeasurementÀÇ µå¶óÀ̹öÀÇ Àбâ ÀÛ¼º Çü½Ä

MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àбâ ÀÛ¼º Çü½ÄÀº ´ÙÀ½°ú °°Àº ÀÎÀÚ ¼øÀ¸·Î ÀÛ¼ºÇÑ´Ù.

1) ÀåºñÀÇ ½ºÅ×ÀÌ¼Ç – »ç¿ë¾ÈÇÔ.

2) Àб⠸í·É¾î ¹× ä³Î – 601x, 602x, 603x, 604x, 605x, 606x, 6071, 608x, 6091, 60A*, 60B*, 60C1, 60D1, 60E1, 60F1,

7011, 7021, 7031, 7041, 7051, 7061.

(¿©±â¼­ x = 1, 2, 3, 4, 5, 6 ÁßÀÇ Ã¤³Î ¹øÈ£,  * = A, B, C, D ÁßÀÇ Parameter, <Ç¥ 1> ÂüÁ¶)

3) ÀÐÀ» ½ÃÀÛ¹øÁö – »ç¿ë¾ÈÇÔ.

4) Åë½Å ¸Þ¸ð¸® ÀúÀå À§Ä¡ - ÀÐÀº °ªÀÌ ÀúÀåµÉ Åë½Å ¸Þ¸ð¸® ½ÃÀÛ¹øÁö.

5) ÀÐÀ» Å©±â – Çѹø¿¡ ÀÐÀ» µ¥ÀÌÅÍÀÇ Å©±â. 1·Î °íÁ¤. (ÀÐÀ» Á¾·ù¿¡ µû¶ó Á¤ÇØÁ® ÀÖÀ½)

 

Àб⠼³Á¤ ¿¹)

READ,     0,  6014,     0,    0,   1,

READ,     0,  6074,     0,    2,   1,

READ,     0,  7061,     0,   10,   1,

 

<Ç¥ 1>Àº MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àб⠸í·É¾î º° ÀÐÀº °ª ÀúÀå À§Ä¡ ¹× ³»¿ëÀÌ°í <Ç¥ 2> ´Â 6091(Power Up Status)¸í·É¾î ÀÐÀº °ªÀÇ ºñÆ® º° ÀǹÌÀÌ´Ù.

 

¸í·É¾î Á¾·ù ³» ¿ë ÀúÀå À§Ä¡ ¹× ³»¿ë ºñ °í
601x Channel Pressure ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : ¾Ð·Â °ª X = 1 ~ 6 »çÀÌÀÇ Ã¤³Î ¹øÈ£¸¦ ÀÔ·Â
602x Channel Pressure with Time Stamp ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : ÀÐÀº ½Ã°£, (10 mSec´ÜÀ§)
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : ¾Ð·Â °ª
603x Channel Voltage ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Àü¾Ð °ª
604x Ion Current ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Ion Àü·ù °ª
605x Emission Current ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Emission Àü·ù °ª
606x Pressure Leak Rate ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Leak Rate °ª
6071 Analog Set Point ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Analog Set Point °ª ¸í·É¾î ¸¶Áö¸· ¹®ÀÚ´Â 1 ¶Ç´Â ÀÓÀÇÀÇ ¹®ÀÚ
608x Channel Condition ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : ä³Î »óÅ °ª
( 0=ON, 1=Low Power Defas, 2=Underranged, 3=Overranged, 4=Manually Off, 5=Auto Off, 6=High Power Degas, 7=Initializing, 8=Zeroing, 9=Bad Sensor, 10=DisConnected, 11=Channel Not Installed ),
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : ¾Ð·Â °ª(»óÅ °ªÀÌ 0ÀÏ ¶§¸¸)
X = 1 ~ 6 »çÀÌÀÇ Ã¤³Î ¹øÈ£¸¦ ÀÔ·Â
6091 Power Up Status ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : »óÅÂ( <Ç¥ 2> ÂüÁ¶ ) ¸í·É¾î ¸¶Áö¸· ¹®ÀÚ´Â 1 ¶Ç´Â ÀÓÀÇÀÇ ¹®ÀÚ
60A* Relay Status ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Parameter, (0 ~ 3 = A ~ D)
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : »óÅ °ª,
(4 = Enabled, 3 = Disabled, 19 = Trip)
X = A, B, C, D ÁßÀÇ Çϳª,
Parameter
60B* Alarm Status
60C1 Current Control Mode ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Over »óÅÂ,
( 0 = No Over, 1 = Override Enabled )
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : Mode
( 0 = Auto, 2 = Close, 7 = Hold, 12 = Manual, 14 = Open )
¸í·É¾î ¸¶Áö¸· ¹®ÀÚ´Â 1 ¶Ç´Â ÀÓÀÇÀÇ ¹®ÀÚ
60D1 Current Recipe ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Over »óÅÂ,
( 0 = No Over, 1 = Override Enabled )
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : Recipe
( 1 ~ 4  »çÀÌÀÇ Recipe)
60E1 Current PID Set Point ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Type,
( 0 = Analog, 1 = Digitial)
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 1 : Set Point °ª
60F1 PCS Output ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : PCS Output °ª
7011 Software Version ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 : Software Version °ª
7021 Channel Status ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 ~ 3 : ä³Î 1 ~ 4 »óÅÂ, STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡´Â ¹®ÀÚ¿­ ÀúÀå.
(0=ON, 1=OFF, 2=AOFF, 3=DCNT, 4=OVER, 5=UNDR, 6=INIT, 6=ZERO, 8=E1, 9=----)
7031 Alarm Status ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 ~ 3 : A ~ D Alarm »óÅÂ, STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡´Â ¹®ÀÚ¿­ ÀúÀå.
(0=ENAB, 1=ENAL, 2=ENLT, 3=DSBL, 4=----)
7041 Configuration Setup ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0 ~ 4 : 1 ~ 5 Slot »óÅÂ, STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡´Â ¹®ÀÚ¿­ ÀúÀå.
(0=CC, 1=CLN, 2=C107, 3=C120, 4=CNCN, 5=PRCN, 6=C-, 7=CN--, 8=CNPR, 9=CNTL, 10=AUXO, 11=----, 12=PR--, 13=PRPR, 14=MFC, 15=HCL, 16=HCH, 17=1A)
7051 Rear Panel Status ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0~3 : Remote Zero 1~4 ä³Î »óÅÂ,
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 4~7 : Latch Relay A~D »óÅÂ,
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 8 : Front Panel Lockout »óÅÂ,
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 9 : Open value »óÅÂ,
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 10 : Manual value Control »óÅÂ,
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 11 : Close »óÅÂ,
ÀúÀåÀ§Ä¡ + 12~14 : Set Point B~D »óÅÂ,
STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡´Â ¹®ÀÚ¿­ ÀúÀå.
( 0=Low(ground), 1=High(5Volts), 2=±âŸ)
7061 Reference Voltage ÀúÀåÀ§Ä¡ + 0~4 : 5°³ÀÇ Calibration ¼ýÀÚ °ª.

<Ç¥ 1> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àб⠸í·É¾î º° ÀÐÀº °ª ÀúÀåÀ§Ä¡ ¹× ³»¿ë

 

ºñÆ®

°ª( 16 Áø¼ö )

¿¡·¯ »óÅÂ

¸ðµç ºñÆ® OFF

00

No Errors

0

01

Bad Factory Calibration

1

02

Bad User Calibration

2

04

Bad Zero Calibration

3

08

New Configuration

4

10

Bad ROM

5

20

Bad RAM

6

40

Reserved

7

80

<Ç¥ 2> 6091(Power Up Status)¸í·É¾î ÀÐÀº °ªÀÇ ºñÆ® º° ÀǹÌ

 

ÁÖÀÇ) MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹ö·Î ÀÐÀº °ªÀº ÀÚ·áÀúÀå À§Ä¡ WORD/DWORD/FLOAT ¸Þ¸ð¸®¿¡ °°Àº °ªÀÌ( °ª Çü½Ä¸¸ ´Ù¸§ ) ÀúÀåµÈ´Ù. ÀϺΠ¸í·É¾î´Â STRING ¸Þ¸ð¸®¿¡µµ ÀÐÀº ¹®ÀÚ¿­À» ÀúÀåÇÑ´Ù.

<±×¸² 1> ÇÁ·ÎÅäÄÝ ¿É¼ÇºÎÀÇ  ¾ÆÀÌÄÜÀ» Ŭ¸¯Çϸé <±×¸² 2>ÀÇ ´ëÈ­»óÀÚ°¡ ³ªÅ¸³ª´Âµ¥ ¿©±â¼­µµ Àбâ Çü½ÄÀ» ÀÛ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

 

<±×¸² 2> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àб⠼³Á¤ ´ëÈ­»óÀÚ

 

<±×¸² 2>ÀÇ , ,  ¹öÅÏ°ú ¸®½ºÆ® ¹Ú½º¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Àбâ Çü½ÄÀ» ÀÛ¼ºÇÑ´Ù.

<±×¸² 2>ÀÇ ¡®Use BCC Data Filed¡¯ ¿µ¿ª¿¡¼­µµ »ç¿ëÇÏ´Â ÇÁ·ÎÅäÄÝÀÇ BCC üũ »ç¿ë¿©ºÎ¸¦ ¼³Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

<±×¸² 3>´Â <±×¸² 2>ÀÇ ´ëÈ­»óÀÚ¿¡¼­ Àбâ Çü½ÄÀ» Ãß°¡ ¶Ç´Â ÆíÁýÇÒ ¶§ ³ªÅ¸³ª´Â ´ëÈ­»óÀÚÀÌ´Ù.

 

<±×¸² 3> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ Àб⠼³Á¤ READ Ãß°¡/ÆíÁý ´ëÈ­»óÀÚÀÇ ¿¹

 

 

2. ¾²±â ¼³Á¤

 

¾²±â ¼³Á¤À¸·Î MKS TYPE 146 ½Ã¸®Áî ÀåºñÀÇ ¼³Á¤ °ª µîÀ» º¯°æÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

 

 

µðÁöÅÐ ¾²±â

µðÁöÅÐ ¾²±â¸¦ À§ÇÑ µðÁöÅÐ Ãâ·Â ÅÂ±× ¼³Á¤ ½Ã ÇÊ¿äÇÑ ¿ä¼Ò

1) Port             ¿¬°áµÈ Åë½ÅÆ÷Æ® ¹øÈ£. (COM ¹øÈ£°¡ ¾Æ´Ô)

2) Station         »ç¿ë¾ÈÇÔ.

3) Address      »ç¿ë¾ÈÇÔ.

4) Extra1          ¼³Á¤ÇÒ ¸í·É¾î ¹× ¸í·ÉÀÎÀÚ, ù ±¸ºÐ¹®ÀÚ @¿Í ¸¶Áö¸· CR ¹× BCC´Â ÀÔ·Â ¾ÈÇÔ(µå¶óÀ̹ö¿¡¼­ ÀÚµ¿ ÀÔ·Â). (<Ç¥ 3> ÂüÁ¶)

5) Extra2          »ç¿ë¾ÈÇÔ.

 

<Ç¥ 3> MKS 146 Vacuum Gauge Measurement Åë½Å µå¶óÀ̹öÀÇ ¾²±â ¸í·É¾î¿Í ¸í·ÉÀÎÀÚ

 

¼³Á¤ ¿¹1)

PORT : 0   STATION : 0   ADDRESS : 0000  EXTRA1 : 0812:ON  EXTRA2 : 0 À¸·Î ¼³Á¤ÇÏ°í µðÁöÅÐ Ãâ·ÂÀ» Çϸé 0 ¹ø Æ÷Æ®¿¡ ¿¬°áµÈ MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ 2¹ø Channel PowerÀ» ON½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.

 

¼³Á¤ ¿¹2)

PORT : 0   STATION : 0   ADDRESS : 0000  EXTRA1 : 0812:OFF  EXTRA2 : 0 À¸·Î ¼³Á¤ÇÏ°í µðÁöÅÐ Ãâ·ÂÀ» Çϸé 0 ¹ø Æ÷Æ®¿¡ ¿¬°áµÈ MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ 2¹ø Channel PowerÀ» OFF½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.

 

 

¾Æ³¯·Î±× ¾²±â

¾Æ³¯·Î±× ¾²±â´Â µðÁöÅÐ ¾²±â¿Í µ¿ÀÏÇÏ°Ô Extra1¿¡ ¸í·É¾î ¹× ¸í·ÉÀÎÀÚ¸¦ ÀÔ·ÂÇÏ¿© MKS TYPE 146 Àåºñ¸¦ ¼³Á¤ÇÑ´Ù.

 

3. Åë½ÅÄÉÀÌºí ¹× ±âº»Àü¿ø ¿¬°á

MKS TYPE 146 ½Ã¸®ÁîÀÇ Åë½ÅÄÉÀÌºí ¹× ±âº»Àü¿øÀº ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ¿¬°áÇÑ´Ù.

 

Åë½ÅÄÉÀÌºí ¿¬°á

MKS TYPE 146 ½Ã¸®ÁîÀÇ RS-232C Åë½ÅÄÉÀ̺íÀº ÀϹÝÀûÀº Á÷·Ä 9ÇÉ ÄÉÀ̺íÀ» ¿¬°áÇÑ´Ù.

<±×¸² 4>´Â MKS TYPE 146 Àåºñ¿¡ RS-232C Åë½ÅÄÉÀ̺í°ú ±âº»Àü¿ø µîÀ» ¿¬°áÇÑ ¸ð½ÀÀÌ°í <±×¸² 5>´Â MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ ¸ð½ÀÀÌ´Ù.

 

ÁÖÀÇ) MKS TYPE 146 ÀÇ ½Ã¸®¾ó(RS-232C) Åë½ÅÄÉÀ̺íÀº Á÷·Ä 9ÇÉ ÄÉÀ̺íÀ» ¿¬°áÇØ¾ß Åë½ÅÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.

 

 

<±×¸² 4> MKS TYPE 146 Àåºñ¿¡ RS-232C Åë½ÅÄÉÀÌºí ¹× ±âº»Àü¿ø µîÀ» ¿¬°áÇÑ ¸ð½À

 

<±×¸² 5> MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ ¸ð½À

 

±âº»Àü¿ø ¿¬°á

<±×¸² 4>¿Í °°Àº MKS TYPE 146 ÀåºñÀÇ ±âº»Àü¿ø ÀÔ·Â ºÎ¿¡ 220V(¶Ç´Â 110V) AC Àü¿øÀ» ¿¬°áÇÑ´Ù.

´Ü Àü¿ø ¿¬°á ºÎ À§ÂÊÀÇ ½ºÀ§Ä¡°¡ 230V ·Î ¼³Á¤µÇ¾úÀ» ¶§´Â 220V Àü¿øÀ» ¿¬°áÇÏ°í 110V ·Î ¼³Á¤µÇ¾úÀ» ¶§´Â 110V Àü¿øÀ» ¿¬°áÇØ¾ß ÇÑ´Ù.

 

 

4. Åë½Å¼Óµµ µîÀÇ ¼³Á¤¹ý

MKS TYPE 146 ½Ã¸®ÁîÀÇ Åë½Å¼Óµµ µîÀº ¾Õ¸é Á¶ÀÛ ¹öÆ°À¸·Î ´ÙÀ½°ú °°Àº ¹æ¹ýÀ¸·Î ¼³Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

1)              ¾Õ¸é Á¶ÀÛ ½ºÀ§Ä¡ÀÇ ¡®DISPLAY MODE¡¯ ¹öÆ°À» ¿©·¯ ¹ø ´­·¯ ¡®SETUP¡¯ ¸ðµå·Î º¯°æÇÑ´Ù.

2)              È­¸é ¿ÞÂÊ À§ÂÊÀÇ ¼ýÀÚ°¡ Á¡¸êÇÒ ¶§±îÁö »óÇÏ ¹æÇâ ¹öÆ°À» ¿©·¯ ¹ø ´©¸¥´Ù.

3)              ¼ýÀÚ°¡ Á¡¸êÇÒ ¶§ ¡®5¡¯¹ø ¹öÆ°À» ´©¸£¸é ¡®9600¡¯ µî°ú °°Àº Åë½Å¼Óµµ°¡ Ç¥½ÃµÈ´Ù.

4)              ÀÌ »óÅ¿¡¼­ ¡®ENTER¡¯ ¹öÆ°À» ´©¸£¸é Åë½Å¼Óµµ°¡ Á¡¸êµÈ´Ù.

5)              Åë½Å¼Óµµ Á¡¸ê»óÅ¿¡¼­ »óÇÏ ¹öÆ°À» ´©¸£¸é Åë½Å¼Óµµ°¡ 300, 1200, 2400, 4800, 9600 ¼øÀ¸·Î º¯°æµÈ´Ù.

6)              »ç¿ëÇÒ Åë½Å¼Óµµ¸¦ ¼±ÅÃÇÏ°í ¡®ENTER¡¯¹öÆ°À» ´©¸£¸é ¡®146¡¯(¶Ç´Â DL) ±ÛÀÚ°¡ Á¡¸êµÈ´Ù.

7)              »ç¿ëÇÒ ÇÁ·ÎÅäÄÝ Á¾·ù¸¦ ¡®146¡¯À¸·Î ¼±ÅÃÇÏ°í ¡®ENTER¡¯ ¹öÆ°À» ´©¸£¸é ¡®7E¡¯ µî°ú °°Àº µ¥ÀÌÅÍ/Æи®Æ¼ºñÆ® ±ÛÀÚ°¡ Á¡¸êµÈ´Ù.

8)              µ¥ÀÌÅÍ ºñÆ®´Â ¼ýÀÚ 7 ¶Ç´Â 8 ¹öÆ°À» ´­·¯¼­ ¼³Á¤ÇÏ°í Æи®Æ¼ ºñÆ®´Â »óÇÏ ¹æÇâ¹öÆ°À» ´­·¯¼­ EVEN/ODD/NONE Áß¿¡¼­ ¼±ÅÃÇÑ´Ù.

9)              ¡®DISPLAY MODE¡¯ ¹öÆ°À» ´­·¯¼­ ¼³Á¤À» Á¾·áÇÑ´Ù.